近年來，我國產(chǎn)業(yè)升級加速，半導(dǎo)體行業(yè)、離子注入、真空鍍膜及空間模擬等設(shè)備對低溫泵的需求日益增加。為打破國外企業(yè)對低溫泵市場及技術(shù)的長期壟斷，鵬力超低溫聚集力量、重點(diǎn)攻關(guān)，于近日成功研發(fā)多口徑低溫泵產(chǎn)品。

自主可控，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化

低溫泵是一種利用低溫冷凝、低溫吸附方式獲得真空環(huán)境的容積式真空泵，主要由氦氣壓縮機(jī)、GM制冷機(jī)及泵頭組成。借助GM制冷機(jī)研發(fā)生產(chǎn)平臺，鵬力超低溫為各口徑低溫泵配備了具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的制冷機(jī)，實(shí)現(xiàn)了整套低溫泵設(shè)備的完全國產(chǎn)化。

產(chǎn)品多樣，差異化定制

針對不同行業(yè)的性能需求差異，鵬力超低溫研發(fā)了8寸、12寸、16寸三種口徑的低溫泵，其氬氣、氫氣抽速及容積、極限真空、渡越容積等性能指標(biāo)均達(dá)到國外產(chǎn)品同等水平。通過采用變頻降溫技術(shù)，可大幅度縮短低溫泵降溫及再生過程所需的時間。以8寸口徑低溫泵為例，它與壓縮機(jī)一拖三連接時，完全再生流程時間為100分鐘，與國外尖端產(chǎn)品比肩。所有型號低溫泵產(chǎn)品均配置手操器，提供遠(yuǎn)程操控的上位機(jī)接口及軟件，可通過中繼控制器對多臺低溫泵、壓縮機(jī)進(jìn)行監(jiān)控。

未來，鵬力超低溫將對低溫泵產(chǎn)品進(jìn)行持續(xù)升級，不斷提升設(shè)備穩(wěn)定性，并最終通過產(chǎn)品的規(guī)?；慨a(chǎn)，為我國真空行業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量！