時間:2023年02月11日 作者:超低溫公司
近日,鵬力超低溫成功發(fā)貨一套大口徑1.5K溫區(qū)快速換樣低溫系統(tǒng)。該系統(tǒng)是國內(nèi)首臺大口徑1.5K-Toploading低溫系統(tǒng),為量子芯片等的低溫快速篩選提供良好的解決方案。
該系統(tǒng)利用自主研制的4K-GM制冷機作為冷源,通過氦氣閉循環(huán)預(yù)冷節(jié)流技術(shù),保證樣品溫度低于1.5K,無需額外的液氦或者液氮等消耗。為了滿足多芯片的高效測試,該系統(tǒng)還采用了靜態(tài)氣冷卻的Top-loading換樣結(jié)構(gòu),同時配置了100mm直徑的樣品腔,測試空間達到了φ100*300mm,相比常規(guī)的50mm的樣品腔,在性能基本一致的前提下,系統(tǒng)容積得到較大提升;為了降低GM制冷機振動影響,該系統(tǒng)采用多重耦合減振,可實現(xiàn)低于±1μm的低振動環(huán)境。
目前,鵬力超低溫研制的低溫制冷機及低溫系統(tǒng)已經(jīng)實現(xiàn)了從mK到77K溫區(qū)的全覆蓋,包括mK量級的稀釋制冷機,1.5K溫區(qū)的恒溫器、4K-GM制冷機、低溫強磁場綜合物性測量儀(CPMS)、氦氣(再)液化裝置、氦氣純化裝置、氦氣循環(huán)冷卻系統(tǒng)、氖氦精制裝置等,并可基于客戶需求進行淺度定制。