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里程碑!首臺大口徑1.5K-Toploading低溫系統(tǒng)成功發(fā)貨

時間:2023年02月11日    作者:超低溫公司

導(dǎo)讀:近年來,國內(nèi)超導(dǎo)量子技術(shù)蓬勃發(fā)展,為了加速量子芯片的測試與篩選,通常需要在1.5K環(huán)境下進行測試,同時還需要配置TopLoading的結(jié)構(gòu)來滿足需求。同時為了布置盡可能多的芯片,還需要有盡可能大的樣品腔,目前市場上已有產(chǎn)品均無法滿足測試需求。

近日,鵬力超低溫成功發(fā)貨一套大口徑1.5K溫區(qū)快速換樣低溫系統(tǒng)。該系統(tǒng)是國內(nèi)首臺大口徑1.5K-Toploading低溫系統(tǒng),為量子芯片等的低溫快速篩選提供良好的解決方案。

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該系統(tǒng)利用自主研制的4K-GM制冷機作為冷源,通過氦氣閉循環(huán)預(yù)冷節(jié)流技術(shù),保證樣品溫度低于1.5K,無需額外的液氦或者液氮等消耗。為了滿足多芯片的高效測試,該系統(tǒng)還采用了靜態(tài)氣冷卻的Top-loading換樣結(jié)構(gòu),同時配置了100mm直徑的樣品腔,測試空間達到了φ100*300mm,相比常規(guī)的50mm的樣品腔,在性能基本一致的前提下,系統(tǒng)容積得到較大提升;為了降低GM制冷機振動影響,該系統(tǒng)采用多重耦合減振,可實現(xiàn)低于±1μm的低振動環(huán)境。

目前,鵬力超低溫研制的低溫制冷機及低溫系統(tǒng)已經(jīng)實現(xiàn)了從mK到77K溫區(qū)的全覆蓋,包括mK量級的稀釋制冷機,1.5K溫區(qū)的恒溫器、4K-GM制冷機、低溫強磁場綜合物性測量儀(CPMS)、氦氣(再)液化裝置、氦氣純化裝置、氦氣循環(huán)冷卻系統(tǒng)、氖氦精制裝置等,并可基于客戶需求進行淺度定制。

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